什么是EUV？为何如此昂贵

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2019/04/07 22:59

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为什么三星、台积电、英特尔，这三家直接竞争对手企业争相投资ASML？EUV堪称半导体设备发展以来最昂贵的设备，一台售价高达9,000 万欧元。中芯国际也向阿斯麦下单了一台价值高达1.2亿美元的EUV（极紫外线）光刻机。看看如何修炼这台设备的。